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真空計工作原理、工作特性及使用熱偶真空計是利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關(guān)的原理來(lái)測量真空度的真空計。一、熱偶真空計工作原理熱電偶真空計的構造如圖1所示，氣體分子承擔的熱傳導量與壓強成正比是熱電偶真空計的工作原理。

熱電偶真空計的構造圖金屬圓筒內部設有一根燈絲，兩端連接電極，通電后燈絲會(huì )發(fā)熱。燈絲的熱量會(huì )通過(guò)氣體分子碰撞燈絲、熱輻射和固體熱傳導等方式被奪走。設單位時(shí)間內以上述三種方式奪走的熱量分別為Qg、Qr、Qs，則平衡狀態(tài)下以下公式成立：式中Q———單位時(shí)間燈絲放出的熱量；R———燈絲的電阻；I———燈絲的電流。

氣體的平均自由程比燈絲的直徑大很多時(shí)，Qg通過(guò)自由分子的熱傳導被表示為式中α———適當常數；Λ———分子的熱傳導率；d———燈絲直徑；a———燈絲長(cháng)度；T———燈絲溫度；T0———金屬圓筒的溫度；p———氣體壓強。Qs和Qr可以分別表示為式(4-8)代表電極的熱傳導，其中S是燈絲的斷面積，κ是固體的熱傳導率，L是電極的長(cháng)度。式(4-9)代表熱輻射，σ和ε分別是玻爾茲曼常數和固體輻射率。如果保持T和T0一定，則式(4-8)和式(4-9)為常數。

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氣體類(lèi)型對熱偶真空計的危害熱偶真空計對不一樣氣體的測定結果是不一樣的，這也是因為不一樣氣體分子結構的傳熱系數不一樣引發(fā)的。但各種各樣氣體的p-E校準曲線(xiàn)樣子都相似，因而，在準確測量不一樣氣體的負擔時(shí)，可依據干躁氣體(或氫氣)標尺的工作壓力讀值，再乘于相對應的被測氣體相對度，就可獲得該氣體的真實(shí)工作壓力，

即通常以干躁氣體(或氫氣)的相對度為1，別的一些較常用的氣體和水蒸氣的相對度如表4-2所顯示。相對度說(shuō)明了氣體導熱的特性。從表得知，針對氣體分子結構中具備同樣原子數的氣體或蒸汽，其相對度Sr隨相對分子質(zhì)量的增加而擴大。表4-2一些氣體與蒸汽的相對度

熱偶規管加溫電流量的明確因為生產(chǎn)制造熱偶規管常用的原料及加工工藝等緣故，每一個(gè)規管的加溫電流量均不同樣；在應用歷程中也會(huì )因為規管“衰老”促使加溫電流量增大；除此之外，不一樣檢測范圍的加溫電流量也是有差別。因而，在應用熱偶記時(shí)，應按不一樣的測量范圍明確規管的加溫電流量。

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inficon電容器塑料薄膜真空計規定準確測量電源電路功能損耗低、易集成化，充分考慮分布電容和干擾信號及溫度的危害，準確準確測量inficon電容器塑料薄膜真空泵規管的細微電容器是一個(gè)難點(diǎn)。感壓塑料薄膜上的電級各自與固定不動(dòng)電級、參照電級組成比較敏感電容器和參照電容器，伺服驅動(dòng)器電級坐落于感壓塑料薄膜下邊，根據增加靜電力使感壓塑料薄膜在準確測量真空值的歷程中處在一個(gè)明確的部位，進(jìn)而完成寬標準的動(dòng)態(tài)性壓力測量。

inficon感應器具備微型化、成本低、性能、易與CMOS電子器件兼容等特性。在差異種類(lèi)的inficon感應器中，很廣泛、運用很普遍的是壓阻式和電容式傳感器。與壓阻式感應器對比，電容式傳感器具備敏感度高、溫度指數低、功能損耗劣等優(yōu)勢。inficon電容器塑料薄膜真空計做為inficon電容式傳感器的一種，可以達到深空探測、流體力學(xué)科學(xué)研究、臨近空間探尋等方面對真空測量?jì)x器測量準確度高、體型小、品質(zhì)輕、功能損耗低的使用要求，具備普遍的應用前景。

inficon電容器塑料薄膜真空計包括真空泵規管和檢測電源電路2個(gè)一部分。在其中，真空泵規管將真空值轉換成容量，準確測量電源電路對容量開(kāi)展解決獲得真空值的值。inficon電容器塑料薄膜真空泵規管原始容量的標準為幾到幾十皮法，其電容器變化量為幾飛法乃至更小。inficon電容器塑料薄膜真空泵規管的比較敏感電容器具備不一樣構造，包含一側電級構造、雙側電級構造及其靜電力均衡構造，不一樣構造的比較敏感電容器其電容變化量不一樣。

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